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基本資料
教授姓名 方維倫
學系 動力機械工程學系
職稱 教授
進一步瞭解，教師研究資訊，請至:

GRB政府研究資訊系統 國立清華大學　知識匯
專利
微型觸覺模擬感測裝置及其製作方法
溫度感測裝置及其製造方法
壓電揚聲器及其驅動方法
感測裝置、濕度感測晶片、及其製作方法
感測裝置及其製作方法
微型觸覺模擬感測裝置及其製作方法
可調變的感測元件
非霧化微型氣味產生器
多階感測元件
微型常閉式結構及其製作方法
可撓式感測器
多階感測元件
可調變的感測元件
微型氣味產生器
微機電電容式麥克風
慣性感測元件
非霧化微型氣味產生器
慣性開關
具有微電感結構之感測晶片
電濕潤干涉式可調適穿透型顯示裝置
具有微電感結構之感測晶片
微型植入裝置
慣性開關
高載流之微型磁簧開關及其製造方法
高載流之微型磁簧開關及其製造方法
系統級封裝方法
半導體之貫孔內連接線的製造方法
電濕潤干涉式可調適穿透型顯示裝置
微型植入裝置
具有應力隔絕結構之慣性感測器
電濕潤干涉式可調適穿透型顯示裝置
磁異向性複材之製備方法
微機電電容式麥克風
系統級封裝方法
應用磁力控制可活動式電感器的方法及其裝置
半導體之貫孔內連接線的製造方法
微機電電容式麥克風
微機電電容式麥克風
光學元件製造方法
加速度計
微機電電容式麥克風
雙軸加速度感測元件
加速度計
磁性元件及其製程
固態可調式微光學裝置及方法
微光機電系統中的固態可調式微光學裝置及方法
光學元件製造方法
磁性元件及其製程
Solid Tunable Micro Optical Device and Method
磁感應元件及其製程、驅動架構以及驅動方法
位於矽基材表面之微結構以及其製程
感測系統單晶片及其製作方法
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