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| 專利名稱(中) | 感測系統單晶片及其製作方法 |
| 專利名稱(英) | SENSING SYSTEM ON CHIP AND METHOD TO PRODUCE THEREFORE |
| 專利家族 |
中華民國：(公開號) |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% ,國立清華大學 100% |
| 發明人 | 錢東林,李雅筑,方維倫 |
| 技術領域 | 機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 一種感測系統單晶片，包括：一基板，是以CMOS平台構築而成；一溫度計，形成於該基板上；一濕度感測單元，形成於該基板上，並具有一第一加熱單元；一氣壓感測單元，形成於該基板上；以及一氣體感測單元，形成於該基板上，並具有一第二加熱單元，其中該濕度感測單元、該氣壓感測單元、以及該氣體感測單元皆橫向分佈於該基板上。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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