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專利名稱(中) 製程參數優化方法與系統
專利名稱(英) PROCESS PARAMETER OPTIMIZATION METHOD AND SYSTEM
專利家族 中華民國:I925527
專利權人 國立清華大學 100.00%
發明人 李明蒼,黃毓勛,何志明,饒達仁
技術領域 光電光學,材料化工
專利摘要(中)
本揭露的製程參數優化方法與系統透過複雜系統響應函數挑選出關鍵的參數以對製程進行優化,同時還預測製程優化後效果。大幅度地減少過往實驗方法中因選用因子以及對應因子的水準而導致的大量實驗數量,還可透過少量的實驗組數即準確地預測結果。透過本揭露的製程參數優化方法與系統,可達到降低實驗數量以節省時間以及成本,以快速找到最佳解的效果。
聯絡資訊
承辦人姓名 楊慧敏
承辦人電話 (03)571-5131 #31181
承辦人Email hmyang@mx.nthu.edu.tw
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