專利授權區 | |
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專利名稱(中) | 磁阻式感測器及其製造方法 |
專利名稱(英) | MAGNETORESISTIVE SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
專利家族 |
中華民國:I815237 大陸:CN 116243225 A(公開號) 美國:US-2023-0176149-A1(公開號) |
專利權人 | 國立清華大學 100% |
發明人 | 賴志煌,李佳璋,顏俞申 |
技術領域 | 材料化工 |
專利摘要(中) |
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本發明提供一種磁阻式感測器及其製造方法。所述方法包括:形成環形的初始參考層,其中初始參考層包括反鐵磁層與鐵磁層;對初始參考層進行熱處理,其中在熱處理的升溫期間鐵磁層產生沿渦形路徑定向的磁化方向,且其中在熱處理的降溫期間反鐵磁層與鐵磁層的介面處產生沿渦形路徑定向的交換偏壓;將初始參考層圖案化為彼此分離的多個參考層,其中多個參考層分別為扇環狀,且多個參考層沿著所述渦形路徑排列;形成多個間隔層以及多個自由層,以形成多個磁阻元件;以及對多個磁阻元件進行繞線。 |
聯絡資訊 | |
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承辦人姓名 | 楊美茹 |
承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |