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| 專利名稱(中) | 製作薄膜太陽能電池之靶材、製程及其產品 |
| 專利家族 |
中華民國：I418048 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 陳家庠,陳奕璋,賴志煌 |
| 技術領域 | 材料化工 |
 專利摘要(中) |
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| 一種製作薄膜太陽能電池的製程，主要是在高溫中濺鍍形成照光時產生光電流的化合物薄膜，或以多段式濺鍍方式形成多數層分別具有不同能隙的化合物薄膜，進而製作出薄膜太陽能電池，由於高溫濺鍍可以成長出大晶粒的柱狀晶化合物薄膜，而，多段式濺鍍方式則能形成多數層分別具有不同能隙的化合物薄膜，所以製作出的薄膜太陽能電池具有極高的效率，此外，濺鍍製程可以直接整合入目前業界的生產製程，而可以大面積大規模地量產。本發明還提供適用的靶材。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 楊美茹 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
| 承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |
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