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| 專利名稱(中) | 用於電子顯微鏡的測試樣品及其製作方法 |
| 專利家族 |
中華民國：I752679 大陸：CN114441561B 美國：US11227742B1 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 陳健群 |
| 技術領域 | 材料化工,機械結構,光電光學,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本发明提供一种用于电子显微镜的测试样品及其制作方法，该测试样品包含一承载基板、一待测物，及一保护层。该待测物设置于该承载基板上，该保护层由非晶形的氧化铝构成，披覆于该待测物上且厚度不大于5nm。本发明利用该保护层披覆于该待测物上，避免该待测物在电子显微镜的检测中因受到电子束的照射而毁损，亦减少积碳效应的发生。且该电子束的电子在非晶形的保护层中行进时，不会产生晶格绕射而不会对该待测物的分析及成像造成影响。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 楊美茹 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
| 承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |
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