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| 專利名稱(中) | 電容式超聲波傳感裝置、其製造方法及傳感陣列 |
| 專利名稱(英) | CAPACITIVE ULTRASONIC TRANSDUCER DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND TRANSDUCER ARRAY |
| 專利家族 |
中華民國：I814593 美國：US-2024-0099695-A1(公開號) |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 李昇憲,陳弘侑,李銘晃,施柏翊 |
| 技術領域 | 機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 一種電容式超聲波傳感裝置，包含基板、第一電容結構、第二電容結構、第一薄膜結構及第二薄膜結構。第一電容結構設置於基板，並包含第一電極及第二電極。第二電極與第一電極之間具有第一間隙及介電層。第二電容結構設置於基板，並包含第三電極及第四電極。第四電極與第三電極之間具有第二間隙。第一薄膜結構連接第一電極與介電層，並用以將第一間隙封閉。第二薄膜結構連接第三電極與第四電極，並用以將第二間隙封閉。第一電極與第二電極之間的第一間距與第二間隙的第二間距相異。藉此，提供不同的電容傳感間隙，以增加應用彈性。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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