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專利名稱(中)	微型探测器及缺陷量测方法
專利家族	中華民國：I723371 大陸：6113317 美國：11,335,609
專利權人	國立清華大學 100%
發明人	蔡宜霈,林本堅,金雅琴,林崇榮
技術領域	光電光學,電子電機

專利摘要(中)
本發明係提供一種微型探測器，其包含一基板、一鰭狀結構、一浮動閘極、一感測閘極、一讀取閘極以及一天線層。鰭狀結構位於基板上。浮動閘極位於基板上，浮動閘極與鰭狀結構彼此垂直交叉。感測閘極位於鰭狀結構之一側。讀取閘極形成於鰭狀結構之另一側。天線層連接感測閘極，其位於感測閘極上方。天線層接觸一外部能量源後產生一引致電荷，透過一耦合效應將引致電荷儲存於浮動閘極內。藉此，可透過計算引致電荷推估晶圓製程中之缺陷分布。

專利摘要(中)

本發明係提供一種微型探測器，其包含一基板、一鰭狀結構、一浮動閘極、一感測閘極、一讀取閘極以及一天線層。鰭狀結構位於基板上。浮動閘極位於基板上，浮動閘極與鰭狀結構彼此垂直交叉。感測閘極位於鰭狀結構之一側。讀取閘極形成於鰭狀結構之另一側。天線層連接感測閘極，其位於感測閘極上方。天線層接觸一外部能量源後產生一引致電荷，透過一耦合效應將引致電荷儲存於浮動閘極內。藉此，可透過計算引致電荷推估晶圓製程中之缺陷分布。

聯絡資訊
承辦人姓名	李曉琪
承辦人電話	03-5715131 #31061
承辦人Email	hsiaochi@mx.nthu.edu.tw