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專利名稱(中) 微型探测器及缺陷量测方法
專利家族 中華民國：I723371
大陸：6113317
美國：11,335,609
專利權人 國立清華大學 100.00%
發明人 蔡宜霈,林本堅,金雅琴,林崇榮
技術領域 光電光學,電子電機
專利摘要(中)
本發明係提供一種微型探測器，其包含一基板、一鰭狀結構、一浮動閘極、一感測閘極、一讀取閘極以及一天線層。鰭狀結構位於基板上。浮動閘極位於基板上，浮動閘極與鰭狀結構彼此垂直交叉。感測閘極位於鰭狀結構之一側。讀取閘極形成於鰭狀結構之另一側。天線層連接感測閘極，其位於感測閘極上方。天線層接觸一外部能量源後產生一引致電荷，透過一耦合效應將引致電荷儲存於浮動閘極內。藉此，可透過計算引致電荷推估晶圓製程中之缺陷分布。
聯絡資訊
承辦人姓名 李曉琪
承辦人電話 03-5715131 #31061
承辦人Email hsiaochi@mx.nthu.edu.tw
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