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|---|---|
| 專利名稱(中) | 微型探测器及缺陷量测方法 |
| 專利家族 |
中華民國：I723371 大陸：6113317 美國：11,335,609 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 蔡宜霈,林本堅,金雅琴,林崇榮 |
| 技術領域 | 光電光學,電子電機 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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