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| 專利名稱(中) | 微機電電容式麥克風 |
| 專利家族 |
中華民國：I448164 大陸：1328653 德國：10 2011 050 040 日本：5309353 美國：8,436,435 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 詹竣凱,方維倫 |
| 技術領域 | 機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
|---|
| 本发明提出一种微机电电容式麦克风，其振膜为一刚性振膜，并设置于一弹性元件上，使得刚性振膜得以借弹性元件的弹性作用平行于一背极板的法向量方向位移，从而获致刚性振膜与背极板间的电容变化。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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