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| 專利名稱(中) | 溫度感測裝置及其製造方法 |
| 專利家族 |
中華民國：I782347 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 方維倫,林本勝 |
| 技術領域 | 機械結構,光電光學,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本案係提供一種感測裝置，包含一基板，具有一第一側及相對於該第一側之一第二側，其中該第一側具有一溝槽；一紅外線能量吸收單元，設置於該溝槽上，且包含彼此交錯堆疊之複數金屬層及複數介電層、以及一熱電耦，其中最上層之金屬層包含一陣列金屬幾何圖案組合，且該陣列金屬幾何圖案組合包含複數具有特定尺寸及形狀之陣列金屬幾何圖案；以及一溫度感測單元，設置於該第一側之周圍，其中該熱電耦耦接於該溫度感測單元。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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