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| 專利名稱(中) | 用於電子顯微鏡的測試樣品及其製作方法 |
| 專利名稱(英) | Test specimen for electron microscope and manufacturing method thereof |
| 專利家族 |
中華民國：I752679 大陸：CN114441561B 美國：US11227742B1 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 陳健群,彭裕庭 |
| 技術領域 | 材料化工,機械結構,光電光學,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 一種用於電子顯微鏡的測試樣品，包含一承載基板、一待測物，及一保護層。該待測物設置於該承載基板上，該保護層由非晶形的氧化鋁構成，披覆於該待測物上且厚度不大於5nm。本發明利用該保護層披覆於該待測物上，避免該待測物在電子顯微鏡的檢測中因受到電子束的照射而毀損，亦減少積碳效應的發生。且該電子束的電子在非晶形的保護層中行進時，不會產生晶格繞射而不會對該待測物的分析及成像造成影響。此外，本發明還提供該測試樣品的製作方法。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 楊美茹 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62305 |
| 承辦人Email | mjyang2@mx.nthu.edu.tw |
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