專利授權區 | |
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專利名稱(中) | 太赫茲元件的製造方法 |
專利名稱(英) | METHOD FOR MANUFACTURING TERAHERTZ DEVICE |
專利家族 |
中華民國:I822144 美國:2023-0420606(公開號) |
專利權人 | 國立清華大學 100% |
發明人 | 楊尚樺,陳往謙,吳宗翰 |
技術領域 | 材料化工,生化醫藥,通信傳輸,光電光學,電子電機 |
專利摘要(中) |
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本揭露提供一種太赫茲元件的製造方法,其包括使用化學氣相沉積製程於基板上形成光吸收結構。基板包括半導體基板、藍寶石基板、石英基板或其組合。光吸收結構包括半導體材料、二維材料、低維度材料、磁性材料、拓樸材料或其組合。 |
聯絡資訊 | |
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承辦人姓名 | 李曉琪 |
承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |