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| 專利名稱(中) | 石墨烯製備系統及方法 |
| 專利名稱(英) | A GRAPHENE MANUFACTURING SYSTEM AND THE METHOD THEREOF |
| 專利家族 |
中華民國：I505986 大陸：2155534 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 葉昭輝,邱博文 |
| 技術領域 | 材料化工,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明揭露一種石墨烯製備系統及方法，相異於先前技術利用單一供氣循環來對工件進行各氣體之輸送，本發明提出了一種在沉積過程中，藉由間斷式重覆調整輸入氣體之輸入量，得以多循環供氣來有效降低石墨烯之片電阻值之方法。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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