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| 專利名稱(中) | 微機電電容式麥克風 |
| 專利名稱(英) | Kapazitives Mikrosystem-Mikrofon(德) |
| 專利家族 |
中華民國：I448164 大陸：1328653 德國：10 2011 050 040 日本：5309353 美國：8,436,435 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 詹竣凱,方維倫 |
| 技術領域 | 機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| The present invention discloses an MEMS capacitive microphone including a rigid diaphragm arranged on an elastic element. When a sound wave acts on the rigid diaphragm, the rigid diaphragm is moved parallel to a normal of a back plate by elasticity of the elastic element. Thereby the variation of the capacitance is obtained between the rigid diaphragm and the back plate. |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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