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專利名稱(中) 半導體內連線結構及其製造方法
專利名稱(英) SEMICONDUCTOR INTERCONNECT STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
專利家族 中華民國:I573208
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 梁正庸,葉昭輝,邱博文
技術領域 材料化工,電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 李曉琪
承辦人電話 03-5715131 #31061
承辦人Email hsiaochi@mx.nthu.edu.tw
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