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專利名稱(中) 黃光製程產能規劃系統及其規劃方法
專利名稱(英) PHOTOLITHOGRAPHY CAPACITY PLANNING SYSTEM AND NON-TRANSITORY COMPUTER READABLE MEDIA THEREOF
專利家族 中華民國:I529633
美國:8,863,047
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 吳吉政,簡禎富
技術領域 工業工程,電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 李佳玲
承辦人電話 03-5715131 #62300
承辦人Email cl.lee@mx.nthu.edu.tw
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