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專利名稱(中) 多階感測元件
專利名稱(英) MULTISTAGE SENSING DEVICE
專利家族 中華民國:I599764
美國:10,113,925
專利權人 國立清華大學 100.00%
發明人 賴威成,方維倫
技術領域 機械結構,電子電機
專利摘要(中)
本發明提供一種多階感測元件,包含一基板、一本體,及一量測單元。本體包括一形成於該基板上且具有一第一空間的第一階本體部,及一形成於該第一階本體部上且具有一第二空間的第二階本體部。量測單元包括一形成於該第一階本體部與該第二階本體部之間的第一量測件,及一形成於該第二階本體部而位於該第二空間之上的第二量測件。當對該本體施加一外力時,以該第二量測件量測該第二階本體部產生的形變,而擠壓該第一階本體部產生形變。
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承辦人姓名 劉千綺
承辦人電話 03-571-5131 #31181
承辦人Email chienchi@mx.nthu.edu.tw
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