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專利名稱(中) 自動啟閉辨識功能的晶圓刻號辨識裝置
專利家族 大陸:CN 116668840 A(公開號)
美國:US 12,068,182B2
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 葉維彰,譚詩毅,林元慈
技術領域 資訊工程,電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 李佳玲
承辦人電話 03-5715131 #62300
承辦人Email cl.lee@mx.nthu.edu.tw
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