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| 專利名稱(中) | 微機電共振器之主動式溫度補償方法及其共振器 |
| 專利名稱(英) | MEMS RESONATOR ACTIVE TEMPERATURE COMPENSATION METHOD AND THERMALLY-ACTUATED MEMS RESONATOR |
| 專利家族 |
中華民國：I538396 美國：9,630,830 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 陳政吉,李昇憲 |
| 技術領域 | 通信傳輸,機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 提供一種微機電共振器的主動式溫度補償方法，包含以下步驟：提供一微機電共振器，微機電共振器之結構阻值隨環境溫度而變化；提供一電路電性連接微機電共振器，且電路提供一回饋調整機制至微機電共振器；環境溫度產生變化，令微機電共振器之結構阻值產生變化，且產生一結構阻值變化量；回饋調整機制提供一補償值，用以控制結構阻值變化量。其中，藉由控制結構阻值變化量，進而修正微機電共振器隨環境溫度變化產生之共振頻率偏移誤差量。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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