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專利名稱(中) | 微機電共振器之主動式溫度補償方法及其共振器 |
專利名稱(英) | MEMS RESONATOR ACTIVE TEMPERATURE COMPENSATION METHOD AND THERMALLY-ACTUATED MEMS RESONATOR |
專利家族 |
中華民國:I538396 美國:9,630,830 |
專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
發明人 | 陳政吉,李昇憲 |
技術領域 | 通信傳輸,機械結構,電子電機 |
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提供一種微機電共振器的主動式溫度補償方法,包含以下步驟:提供一微機電共振器,微機電共振器之結構阻值隨環境溫度而變化;提供一電路電性連接微機電共振器,且電路提供一回饋調整機制至微機電共振器;環境溫度產生變化,令微機電共振器之結構阻值產生變化,且產生一結構阻值變化量;回饋調整機制提供一補償值,用以控制結構阻值變化量。其中,藉由控制結構阻值變化量,進而修正微機電共振器隨環境溫度變化產生之共振頻率偏移誤差量。 |
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承辦人姓名 | 劉千綺 |
承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |