搜尋專利授權區
關鍵字
選單
專利授權區


專利授權區
專利名稱(英) EUV SPECTROSCOPIC POLARIMETER
專利家族 中華民國:202208809(公開號)
美國:11,313,727
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 陳明彰,張光佑,黃旆齊
技術領域 材料化工,能源科技,光電光學,電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 李曉琪
我有興趣 BACK