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| 專利名稱(中) | 具氮化鋁薄膜之熱擴散元件及其製作方法 |
| 專利家族 |
中華民國：I490117 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 林溥如,陳建亨,岑尚仁 |
| 技術領域 | 材料化工 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明係有關於一種具氮化鋁薄膜之熱擴散元件及其製作方法，包含：一基板(基板的組成可為單一材質、多層結構、或複合材料)；及一氮化鋁薄膜，其係設於該基板之表面，該氮化鋁薄膜之厚度係介於1 nm至10 μm之間，而該氮化鋁薄膜係作為熱傳輸媒介；尤指將置於其上之發熱元件所產生之熱傳輸至基板，再經由基板將熱傳至散熱鰭片。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 李佳玲 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #62300 |
| 承辦人Email | cl.lee@mx.nthu.edu.tw |
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