專利授權區
國立清華大學國際產學營運總中心 > 智財技轉組 > 專利授權區
搜尋專利授權區
選單
專利授權區
 專利授權區 |
|
|---|---|
| 專利名稱(中) | 具有微電感結構之感測晶片 |
| 專利名稱(英) | SENSOR CHIP HAVING A MICRO INDUCTOR STRUCTURE |
| 專利家族 |
中華民國：I513960 美國：9,340,408 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
| 發明人 | 張恒中,方維倫 |
| 技術領域 | 材料化工,機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
|---|
| 本發明關於一種具有微電感結構之感測晶片，有一支撐結構層；以及一微電感層，其形成於該支撐結構層上，並具有一電感值，該微電感層包含有一絕緣層、至少一磁性層以及一微線圈層，當一外部物理量作用於該感測晶片時，該微電感層可相對應地變形，而產生其電感值的變化，而可被一電感值量測電路所量測到。該電感值量測電路可為一外部電路，亦可整合於該感測晶片。本發明具有結構簡單、低成本，容易製造並具有高靈敏度及溫度穩定性的優點。 |
 聯絡資訊 |
|
|---|---|
| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
我有興趣
BACK
