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| 專利名稱(中) | 使用半導體偵測器的偵測方法與半導體結構 |
| 專利名稱(英) | DETECTION USING SEMICONDUCTOR DETECTOR AND SEMICONDUCTOR STRUCTURE |
| 專利家族 |
中華民國：I782474 大陸：CN113539873A(公開號) 美國：2021-0407764(公開號) |
| 專利權人 | 國立清華大學 66.67% ,台灣積體電路製造股份有限公司 33.33% |
| 發明人 | 金雅琴,林崇榮,林本堅,王建評,王紹華,張俊霖,陳立銳 |
| 技術領域 | 電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 一種使用半導體偵測器的偵測方法包含施加第一電壓至測試晶圓中的半導體偵測器的偵測器單元的第一電晶體的源極，並施加第二電壓至第一電晶體的閘極與偵測器單元的第二電晶體的汲極。第一電晶體串聯耦接至第二電晶體，第一電壓高於第二電壓。在半導體偵測器的偵測器單元上執行曝光前讀取操作。在施加第一電壓與第二電壓後，投射曝光設備的光至偵測器單元的第二電晶體的閘極。在半導體偵測器的偵測器單元上執行曝光後讀取操作。比較曝光前讀取操作與曝光後讀取操作的數據。根據曝光前讀取操作的與曝光後讀取操作的比較數據，調整光的強度。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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