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| 專利名稱(中) | 合成銦鎵鋅氧化物之方法及使用其形成銦鎵鋅氧化物薄膜之方法 |
| 專利家族 |
中華民國：I415794 美國：8,278,140 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 楊雅惠,陳信文,楊士禮,高振裕,周更生 |
| 技術領域 | 材料化工 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明係有關於一種合成銦鎵鋅氧化物之方法及使用其形成銦鎵鋅氧化物薄膜之方法，其中，合成銦鎵鋅氧化物之方法係包括：(A)提供一金屬酸鹽水溶液，此金屬酸鹽水溶液係包含一鋅金屬酸鹽、一銦金屬酸鹽、以及一鎵金屬酸鹽；(B)混合此金屬酸鹽水溶液與一鹼性水溶液，以製得一氧化物前趨物；以及(C)加熱此氧化物前趨物，以製得一銦鎵鋅氧化物粉末。 |
| 專利摘要(英) |
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| 自行申請補件 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 施惠婷 |
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