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專利名稱(中) 金氧半場效電晶體之閘極介電層的氮化方法
專利名稱(英) METHOD FOR NITRIFYING GATE DIELECTRICS OF MOSFET
專利家族 中華民國:I378500
專利權人 國立清華大學 100%
發明人 傅崇豪,張廖貴術
技術領域 電子電機
聯絡資訊
承辦人姓名 楊美茹
承辦人電話 03-5715131 #62305
承辦人Email mjyang2@mx.nthu.edu.tw
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