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| 專利名稱(中) | 熱致動振盪式懸浮微粒感測裝置及懸浮微粒感測方法 |
| 專利名稱(英) | THERMAL-PIEZORESISTIVE OSCILLATOR-BASED AEROSOL SENSOR AND AEROSOL SENSING METHOD |
| 專利家族 |
中華民國：I647435 美國：10,705,053 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 劉廷淵,李昇憲 |
| 技術領域 | 機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明提供一種懸浮微粒感測方法，其包含：提供一通入作業，使一氣溶膠進入一熱致動振盪式懸浮微粒感測裝置的一集塵室，集塵室中放置一熱致動壓阻式共振器；提供一集塵作業，當熱致動壓阻式共振器未通電時，讓氣溶膠中的複數懸浮微粒留滯於熱致動壓阻式共振器的至少一質量塊上；以及提供一量測作業，通入一電訊號使熱致動壓阻式共振器振盪，以量測熱致動壓阻式共振器的一共振頻率；其中重覆集塵作業及量測作業能量測共振頻率的變化以感測出氣溶膠中的懸浮微粒。藉此可避免熱致動壓阻式共振器發熱產生熱泳效應影響懸浮粒的沉積。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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