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| 專利名稱(中) | 微機電共振器及其訊號處理方法以及製造方法 |
| 專利名稱(英) | MEMS RESONATOR, MANUFACTORING METHOD THEREOF, AND SIGNAL PROCESSING METHOD USING MEMS RESONATOR |
| 專利家族 |
中華民國：I519066 美國：8,854,149 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 李承勳,李昇憲 |
| 技術領域 | 通信傳輸,機械結構,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明提出一種微機電共振器，其利用差動式壓阻感測技術，使此微機電共振器傳遞一訊號。此微機電共振器利用互補式金屬氧化層半導體(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,CMOS)製程使其起振元件及壓阻元件達到電子絕緣，藉此降低饋通訊號(feedthrough signal)。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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