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| 專利名稱(中) | 厚度線上即時檢測之光學干涉裝置及其方法 |
| 專利名稱(英) | Optical Interferometric Apparatus for Real-Time Full-Field Thickness Inspection and Method Thereof |
| 專利家族 |
中華民國：I486550 大陸：2796773 美國：9,644,947 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 宋泊錡,李孟修,黃吉宏,王偉中 |
| 技術領域 | 機械結構,光電光學 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 劉千綺 |
| 承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
| 承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |
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