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| 專利名稱(中) | 具有結晶矽薄膜之基板及其製備方法 |
| 專利家族 |
中華民國：I519668 美國：9,443,924 |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 李紫原,謝秉諺,戴念華 |
| 技術領域 | 材料化工,光電光學,電子電機 |
 專利摘要(中) |
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| 本發明係有關於一種具有結晶矽薄膜之基板及其製備方法，其中具有結晶矽薄膜之基板係包含：一基板，其係高分子基板；以及一結晶矽薄膜，其係形成於該基板之至少一表面上，其中該結晶矽薄膜的結晶度高於90％，且係包含複數個柱狀(column structure)矽晶體。 |
 聯絡資訊 |
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| 承辦人姓名 | 蔡昀臻 |
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