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專利名稱(中) | 微機電共振震盪子結構及其驅動方法 |
專利名稱(英) | MICROMECHANICAL RESONATOR OSCILLATOR STRUCTURE AND DRIVING METHOD |
專利家族 |
中華民國:I511916 美國:9,024,708 |
專利權人 | 國立清華大學 100.00% |
發明人 | 李承勳,侯立人,李昇憲 |
技術領域 | 通信傳輸,機械結構,電子電機 |
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本發明係一種微機電共振震盪子結構及其驅動方法。隨著微機電共振震盪子結構之功率處理能力和有效剛性之間的線性關係,驅動電極位於一樑式共振震盪子的等效高剛性區域相比在等效低剛性區域可提供更穩定的訊號輸出。然後一個使用樑式微機電共振震盪子結構為中心之設計已成功地證明在頻率9.7 MHz狀況下,等效高剛性區域驅動相較於等效低剛性區域驅動可提高功率處理能力和相位噪聲性能改善。 |
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承辦人姓名 | 劉千綺 |
承辦人電話 | 03-571-5131 #31181 |
承辦人Email | chienchi@mx.nthu.edu.tw |