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| 專利名稱(中) | 环围型金属栅极的晶体管 |
| 專利家族 |
大陸：CN113497125A(公開號) |
| 專利權人 | 國立清華大學 100% |
| 發明人 | 吳孟奇,游家睿,許晉瑋 |
| 技術領域 | 通信傳輸,電子電機 |
 專利摘要(中) |
|---|
| 本发明提供一种环围型金属栅极的晶体管，包括基板、半导体单元、栅极单元及源极漏极单元。所述半导体单元设置在所述基板上。所述栅极单元包括设置在所述半导体单元上的栅极，及包覆所述栅极的金属栅极层。所述源极漏极单元包括分别设置在所述栅极单元两侧的源极及漏极。通过将所述金属栅极层完整包覆所述栅极，使所述栅极增加了侧壁金属，使其控制维度从二维提升至三维，有效提升所述栅极的控制能力，实现低栅极漏电流。 |
 聯絡資訊 |
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|---|---|
| 承辦人姓名 | 李曉琪 |
| 承辦人電話 | 03-5715131 #31061 |
| 承辦人Email | hsiaochi@mx.nthu.edu.tw |
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